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MC 氣體標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品介紹：

  MC 氣體標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器全球控制響應(yīng)很快、很穩(wěn)定的質(zhì)量流量控制器，可測(cè)量并控制低至2.5微升的流量，依照用戶應(yīng)用需求量身定制閥門(mén)孔徑以確保達(dá)到很好工作效果。

所有氣體的滿量程流量在0.5 SCCM和 5000 SLPM之間（ H2 為 10,000 SLPM）

監(jiān)測(cè)四個(gè)變量： 質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度

控制三個(gè)變量之一：質(zhì)量流量、體積流量或壓力

預(yù)加載98 多種氣體校準(zhǔn)且可供用戶選擇

本地、模擬或數(shù)字控制，包括工業(yè)協(xié)議

技術(shù)參數(shù)：

穩(wěn)態(tài)控制范圍：滿量程的0.01% – 100%

NIST 可追溯校準(zhǔn)

標(biāo)準(zhǔn)精度：讀數(shù)的 ±0.6% 或滿量程的 ±0.1%，以較大者為準(zhǔn)

高精度：讀數(shù)的 ±0.5% 或滿量程的 ±0.1%，以較大者為準(zhǔn)

重復(fù)性：±（讀數(shù)的0.1% + 滿量程的0.02%）

典型控制響應(yīng)時(shí)間：快至 30 ms

預(yù)熱時(shí)間：<1秒

兼容氣體：98+ 純氣體和混合非腐蝕性氣體

工作溫度：–10°C 至 +60°C

滿量程工作壓力：160 PSIA (11 barA)